季华实验室位于佛山三山新城文翰湖公园对面，离广州南站不远。广州日报全媒体记者陈枫摄
半导体集成电路零部件产业佛山峰会昨在南海召开 季华实验室首批孵化企业佛仪科技携新研发的射频及微波电源产品亮相 备受关注
广州日报讯 （全媒体记者杨博）昨日，半导体集成电路零部件产业佛山峰会在南海召开，来自全国相关领域160余家企业的400余位代表齐聚一堂。季华实验室首批孵化企业佛仪科技（佛山）有限公司（以下简称“佛仪科技”）携新研发的射频及微波电源产品亮相峰会，备受关注。
季华实验室理事长兼主任曹健林表示，现在佛山集成电路零部件产业还是“空白”，希望未来佛山会成为最重要的集成电路零部件产业制造基地之一。
作为季华实验室科学技术创新平台孵化的首批企业代表，佛仪科技此番在峰会秀出的新品射频及微波电源产品非常关注。其中，JHL-MW6000微波电源发生器是该公司自主研发的一款微波电源产品，它作为一种高性能、低成本的微波发生器，能提供6KW、2.45GHz微波源，在微波功率调节至最大输出功率的1%以下，仍可保证波动小于2%的精度水平。
JHL-MW6000微波电源发生器把能量功率以微波的形式输出，适用于控制工业等离子源，该电源作为集成电路装备核心零部件，可用于等离子刻蚀、等离子增强化学气相沉积、等离子清洗、离子注入、离子辅助沉积等半导体关键工序设备，也可用于太阳能板、面板制造业中。
此外，季华实验室经过一年多的努力，已经初步成功研制了射频电源，得到了广东省科技厅和国家相关项目的支持，并在一些大企业投用。记者通过调查了解到，佛仪科技是应半导体产业需求和佛山创新性城市建设需求而设立的一家先进制造科学技术公司，其服务对象涉及微波技术、真空技术和半导体技术等领域，营业范围包括半导体真空设备及其关键器件的研发和产业化、半导体真空设备及其关键器件的设计服务等。
“佛山正在经历产业升级，但从半导体元器件、装备来看，甚至在泛半导体产业，佛山的基础还很薄弱。”季华实验室理事长兼主任曹健林表示，季华实验室定位于先进制造，建设初期就把半导体技术与装备作为重要的发展趋势。过去一年多，季华实验室在引进人才、组织队伍、实验室建设等方面做了很多工作。“真空设备乃至射频电源是一个方向，季华实验室将来还会在显示装备以及光学、精密机械等领域布局。”他进一步表示，现在佛山集成电路零部件产业还是“空白”，希望未来三至五年会成为最重要的集成电路零部件产业制造基地之一。
“半导体产业的先进材料、先进装备和先进元器件都处在产业的高端，希望优秀企业到佛山来发展。”曹健林表示，一般来说，家电产业的利润率很难超过10%，装备制造产业规模虽然不会很大，但技术上的含金量高，毛利润会达到50%。明年6月，季华实验室预计会有13.5万平方米的实验室竣工，届时会有大量成果呈现出来。
针对佛山如何发力集成电路关键零部件领域的问题，华芯微特科技有限公司总经理韩智毅建议，除了建设季华实验室，佛山还需要引入更多的产业资源，要让产业继续深耕、加强合作。“基于家电智能化、陶瓷设备智能化，佛山把关键的核心问题找出来、定点解决，会对本地的集成电路零部件产业形成突破。”
2018年，佛山电子信息制造业实现工业总产值844亿元，实现工业增加值179.77亿元，规模以上企业达243家。而在去年7月30日，佛山市、南海区与中科院微电子研究所等单位就共同推进集成电路产业签订了合作框架协议。“集成电路零部件领域的突破需要多年的学科积累、工艺积累和匠心的积累，我们要有自己产业升级的能力。”对于下一步如何突破的问题，曹健林指出，集成电路零部件产业特别需要协同创新、抱团发展，上下游产业的信任极为重要。
从佛山来看，2018年，佛山电子器件制造、电子元件以及电子专用材料制造分别实现产值347亿元、289.3亿元，二者合计占全市电子信息产业产值75.4%。而在重点细致划分领域，新型显示、LED照明等电子信息制造领域的基础良好，形成了一批以群志光电、国星光电、佛山照明等为代表的重点企业。从这一些数据能够准确的看出，佛山电子信息产业前期的产业基础大多分布在在电子器件、电子元件以及电子专用材料制造等领域，但在集成电路关键零部件领域，佛山基础薄弱。在政策支持方面，南海早在2017年就出台了《佛山市南海区电子信息产业扶持奖励办法》，重点扶持半导体以及大数据产业，促进企业转型升级。其中，半导体生产、设计企业和大数据企业新注册落户南海，会从租金补贴、出售的收益、成果转化等多方面得到扶持。
实际上，佛山在产业载体方面，拥有佛山光电显示产业基地、佛山物联网和云计算产业基地、顺德OLED产业基地、顺德互联网以及应用示范基地4个省市共建新兴起的产业基地,三水也有一个电子信息研发制造现代园区，禅城、南海则分别拥有软件信息服务业现代园区、青年湖电子信息园区等。南海电子信息产业园与广州白云区的黄围新一代信息技术和AI产业园隔江相望、相互呼应。
曹健林表示：“期望有一批产值过亿元的‘单打冠军’‘小巨人企业’出现。”谈到省重点实验室在协同创新中所发挥的作用，韩智毅表示：“季华实验室会在整合产业资源及核心技术方面起到最重要的作用。”